油扩散泵临界前压的测量报告
* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-08-19 16:40:53 * 浏览: 0
在测试结果中,临界前压的单位为Pa,气体流速的单位为Pa.L / s。除非另有说明,否则临界前级压力与气体流量之间的关系曲线应在坐标图中标出。 (1)图中应显示确定(1)所述的临界前级压力的泵入口吸入压力的增加率。在高真空侧的压力没有突然升高的情况下,应提供气体流量以指示当气体流量为零时前一级压力与高清晰度空间之间的关系。
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